Neues Gehäuse für MEMS-Drucksensoren in Flüssigkeiten und Gasen

Druckmessung in anspruchsvollen Medien Neues Gehäuse für MEMS-Drucksensoren in Flüssigkeiten und Gasen

21.10.2026 Quelle: Pressemitteilung 2 min Lesedauer

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Melexis Microelectronic Integrated Systems

Um Druck direkt im Kühlmittel messen zu können, ohne dass die Sensorik Schaden nimmt, haben Neways und Melexis ein kompaktes Packaging für MEMS-Drucksensoren entwickelt. Die mehrjährige Zusammenarbeit zielt insbesondere auf Elektrofahrzeuge und flüssigkeitsgekühlte KI-Rechenzentren.

MEMS-Drucksensorik: Die Triphibian-Sensoren von Melexis erfassen Drücke in gasförmigen und flüssigen Medien. Für die Sensorfamilie haben Melexis und Neways gemeinsam ein neues Packaging-Konzept entwickelt.(Bild: Melexis) — MEMS-Drucksensorik: Die Triphibian-Sensoren von Melexis erfassen Drücke in gasförmigen und flüssigen Medien. Für die Sensorfamilie haben Melexis und Neways gemeinsam ein neues Packaging-Konzept entwickelt.
(Bild: Melexis)

Bei der Entwicklung von MEMS-Sensoren kommt es nicht nur auf den Halbleiterchip an. Gerade bei der Druckmessung in Flüssigkeiten entscheidet das Gehäuse ebenfalls darüber, wie zuverlässig und präzise ein Sensor arbeitet. Der niederländische Elektronikfertiger Neways und der belgische Halbleiterhersteller Melexis haben deshalb eine mehrjährige Partnerschaft für das Advanced Packaging der Triphibian-Drucksensorfamilie vereinbart.

Gemeinsam haben die beiden Unternehmen bereits ein kompaktes Gehäusekonzept entwickelt, das auch unter anspruchsvollen Umgebungsbedingungen zuverlässig funktionieren soll. Neways übernimmt dabei eine Aufgabe, die bei der Integration von MEMS-Sensoren besonders anspruchsvoll ist: Der Chip muss geschützt werden, gleichzeitig muss der zu messende Druck zuverlässig auf das Sensorelement übertragen werden.

„Ein MEMS-Sensorchip ist nur so gut wie das Gehäuse, das ihn umgibt“, erklärt Neways-CEO Hans Büthker sinngemäß. Gerade bei der direkten Druckmessung in Flüssigkeiten sei die Gehäuseentwicklung eine besondere Herausforderung. Advanced Packaging gehöre deshalb zu den strategischen Schwerpunkten des Unternehmens.

Druckmessung direkt im Kühlmittel

Die Triphibian-Sensoren von Melexis können den Druck sowohl in gasförmigen als auch in flüssigen Medien erfassen. Dank ihrer speziellen Konstruktion überstehen sie nach Herstellerangaben auch das Gefrieren des Mediums. Das ist unter anderem für das Thermomanagement von Elektrofahrzeugen und die Flüssigkeitskühlung leistungsfähiger KI-Rechenzentren interessant. Dort helfen Drucksensoren, den Kühlmittelkreislauf zu überwachen und Störungen frühzeitig zu erkennen.

Im Juli 2026 hatte Melexis seine Triphibian-Familie um Niederdruckvarianten erweitert. Die Bausteine MLX90830, MLX90833 und MLX90834 unterstützen konfigurierbare Druckbereiche ab 2 bar. Andere Varianten der Familie decken Messbereiche bis 70 bar ab. Die Sensoren eignen sich nach Herstellerangaben auch für den direkten Kontakt mit glykolhaltigen Kühlmitteln.

Technisch basiert die Sensorfamilie auf einem freitragenden MEMS‑Sensorelement. Dieses wird mit Signalverarbeitung, Signalkonditionierung und Ausgangstreiber in einem werkseitig kalibrierten SOIC16-Wide-Body-Gehäuse kombiniert. Die Kalibrierung über mehrere Druck- und Temperaturpunkte soll eine zusätzliche End-of-Line-Kalibrierung auf Modulebene überflüssig machen. Für die Systemintegration stehen analoge sowie LIN- und SENT-Varianten zur Verfügung. Weitere Schnittstellen mit SPI und I²C sind für 2027 angekündigt. (sb)

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